地震檢波器的應(yīng)用對(duì)我們有很大幫助，下面就來給大家介紹一下電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器。
電容式地震檢波器是根據(jù)兩極板之間的距離、相互覆蓋的面積、介電系數(shù)變化引起電容改變來設(shè)計(jì)的。與單電容地震檢波器相比，差動(dòng)電容地震檢波器的靈敏度提高了一倍，相對(duì)非線性誤差大大減小。由于模擬差動(dòng)電容式檢波器輸出信號(hào)易受電磁信號(hào)干擾，已經(jīng)逐漸被數(shù)字式差動(dòng)電容檢波器取代。MEMS數(shù)字檢波器其中核心部件就是差動(dòng)電容式地震檢波器。
MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)檢波器是目前性能較好的三分量數(shù)字地震檢波器，是以硅材料為基底，采用MEMS技術(shù)，即微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)加工的差動(dòng)電容式地震檢波器。
21世紀(jì)初國外推出的VectorSeis系列和DSU系列數(shù)字地震檢波器都是基于MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)的微電子機(jī)械數(shù)字傳感系統(tǒng)。MEMS地震檢波器結(jié)構(gòu)精巧，靈敏度比動(dòng)圈式地震檢波器高，動(dòng)態(tài)范圍較大，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了檢波器的數(shù)字化，抗干擾能力強(qiáng)。該類型地震檢波器在實(shí)驗(yàn)室研制的性能效果較好，但是加工工藝為先進(jìn)的MEMS技術(shù)，成本較高，在地震勘探過程中通常會(huì)使用幾十甚至幾百個(gè)檢波器，因此將該類型檢波器投入大型地震勘探生產(chǎn)實(shí)踐還有一定的難度。
以上就是關(guān)于電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器的介紹，希望對(duì)大家有所幫助。
